ରାସାୟନିକ-ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ (CMP) ପ୍ରାୟତଃ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଦ୍ୱାରା ମସୃଣ ପୃଷ୍ଠ ଉତ୍ପାଦନ ସହିତ ଜଡିତ, ବିଶେଷକରି ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉତ୍ପାଦନ ଶିଳ୍ପରେ କାର୍ଯ୍ୟ କରେ।ଲନ୍ମିଟର, ଇନଲାଇନ୍ ସାନ୍ଦ୍ରତା ମାପକାଠିରେ 20 ବର୍ଷରୁ ଅଧିକ ବିଶେଷଜ୍ଞତା ସହିତ ଏକ ବିଶ୍ୱସ୍ତ ଉଦ୍ଭାବକ, ଅତ୍ୟାଧୁନିକ ପ୍ରଦାନ କରେଅଣ-ଆଣବିକ ଘନତା ମିଟରଏବଂ ସ୍ଲରି ପରିଚାଳନାର ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜଗୁଡ଼ିକୁ ସମାଧାନ କରିବା ପାଇଁ ସାନ୍ସିସିଟି ସେନ୍ସର।
ସ୍ଲରି ଗୁଣବତ୍ତାର ଗୁରୁତ୍ୱ ଏବଂ ଲନ୍ମିଟରର ବିଶେଷଜ୍ଞତା
ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ ସ୍ଲରି ହେଉଛି CMP ପ୍ରକ୍ରିୟାର ମେରୁଦଣ୍ଡ, ଯାହା ପୃଷ୍ଠର ସମାନତା ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ। ଅସଙ୍ଗତ ସ୍ଲରି ଘନତା କିମ୍ବା ସାନ୍ଦ୍ରତା ମାଇକ୍ରୋ-ସ୍କ୍ରାଚ୍, ଅସମାନ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ, କିମ୍ବା ପ୍ୟାଡ୍ କ୍ଲଗ୍ିଙ୍ଗ୍, ୱେଫର ଗୁଣବତ୍ତା ସହ ସମନ୍ୱିତ କରିବା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ଭଳି ତ୍ରୁଟି ସୃଷ୍ଟି କରିପାରେ। ଶିଳ୍ପ ମାପ ସମାଧାନରେ ବିଶ୍ୱସ୍ତରର ନେତା ଲନ୍ମିଟର, ସର୍ବୋତ୍ତମ ସ୍ଲରି କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଇନଲାଇନ୍ ସ୍ଲରି ମାପକରଣରେ ବିଶେଷଜ୍ଞ। ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ, ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ସେନ୍ସର ପ୍ରଦାନ କରିବାର ଏକ ପ୍ରମାଣିତ ଟ୍ରାକ୍ ରେକର୍ଡ ସହିତ, ଲନ୍ମିଟର ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଏବଂ ଦକ୍ଷତା ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ଅଗ୍ରଣୀ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ନିର୍ମାତାମାନଙ୍କ ସହିତ ସହଭାଗୀ ହୋଇଛି। ସେମାନଙ୍କର ଅଣ-ନ୍ୟୁକ୍ଲିୟର ସ୍ଲରି ଘନତା ମିଟର ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା ସେନ୍ସର ପ୍ରକୃତ-ସମୟ ତଥ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରେ, ଯାହା ସ୍ଲରି ସ୍ଥିରତା ବଜାୟ ରଖିବା ଏବଂ ଆଧୁନିକ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନର କଠୋର ଚାହିଦା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ସଠିକ୍ ସମାୟୋଜନକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।
ଶୀର୍ଷ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଫାର୍ମଗୁଡ଼ିକ ଦ୍ୱାରା ବିଶ୍ୱସ୍ତ, ଇନଲାଇନ୍ ସାନ୍ଦ୍ରତା ମାପକାଠିରେ ଦୁଇ ଦଶନ୍ଧିରୁ ଅଧିକ ଅଭିଜ୍ଞତା। ଲନ୍ମିଟରର ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ନିର୍ବିଘ୍ନ ସମନ୍ୱୟ ଏବଂ ଶୂନ୍ୟ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି, ଯାହା କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରେ। ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକତା ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ସମାଧାନ, ଉଚ୍ଚ ୱେଫର ଉପଜ ଏବଂ ଅନୁପାଳନ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂର ଭୂମିକା
ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ (CMP), ଯାହାକୁ ରାସାୟନିକ-ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପ୍ଲାନରାଇଜେସନ୍ ମଧ୍ୟ କୁହାଯାଏ, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନର ଏକ ମୂଳଦୁଆ, ଯାହା ଉନ୍ନତ ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ସମତଳ, ତ୍ରୁଟିମୁକ୍ତ ପୃଷ୍ଠ ସୃଷ୍ଟି କରିବାକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ। ରାସାୟନିକ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ସହିତ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଘର୍ଷଣକୁ ମିଶ୍ରଣ କରି, CMP ପ୍ରକ୍ରିୟା 10nm ତଳେ ନୋଡଗୁଡ଼ିକରେ ବହୁ-ସ୍ତରୀୟ ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକୀୟ ସଠିକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ପାଣି, ରାସାୟନିକ ପୁନଃଆକର୍ଷଣ ଏବଂ ଘୃଣ୍ୟ କଣିକାରେ ଗଠିତ ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ ସ୍ଲରି, ସମାନ ଭାବରେ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ କରିବା ପାଇଁ ପଲିସିଂ ପ୍ୟାଡ୍ ଏବଂ ୱାଫର ସହିତ ପାରସ୍ପରିକ କ୍ରିୟା କରେ। ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଡିଜାଇନ୍ ବିକଶିତ ହେବା ସହିତ, CMP ପ୍ରକ୍ରିୟା ବର୍ଦ୍ଧିତ ଜଟିଳତାର ସମ୍ମୁଖୀନ ହୁଏ, ତ୍ରୁଟିକୁ ରୋକିବା ଏବଂ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଫାଉଣ୍ଡ୍ରି ଏବଂ ସାମଗ୍ରୀ ଯୋଗାଣକାରୀଙ୍କ ଦ୍ୱାରା ଦାବି କରାଯାଇଥିବା ମସୃଣ, ପଲିସ୍ ହୋଇଥିବା ୱାଫରଗୁଡ଼ିକୁ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ସ୍ଲରି ଗୁଣଧର୍ମ ଉପରେ କଡ଼ା ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଆବଶ୍ୟକ କରେ।
ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ସର୍ବନିମ୍ନ ତ୍ରୁଟି ସହିତ 5nm ଏବଂ 3nm ଚିପ୍ସ ଉତ୍ପାଦନ କରିବା ପାଇଁ ଅତ୍ୟାବଶ୍ୟକ, ଯାହା ପରବର୍ତ୍ତୀ ସ୍ତରଗୁଡ଼ିକର ସଠିକ୍ ଜମା ପାଇଁ ସମତଳ ପୃଷ୍ଠକୁ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ। ଏପରିକି ସାମାନ୍ୟ ସ୍ଲରି ଅସଙ୍ଗତି ମଧ୍ୟ ମହଙ୍ଗା ପୁନଃକାର୍ଯ୍ୟ କିମ୍ବା ଉତ୍ପାଦନ କ୍ଷତିର କାରଣ ହୋଇପାରେ।
ସ୍ଲରି ଗୁଣଧର୍ମ ନିରୀକ୍ଷଣରେ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜଗୁଡ଼ିକ
ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସ୍ଥିର ସ୍ଲରି ଘନତା ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା ବଜାୟ ରଖିବା ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜରେ ପରିପୂର୍ଣ୍ଣ। ପରିବହନ, ପାଣି କିମ୍ବା ହାଇଡ୍ରୋଜେନ ପେରକ୍ସାଇଡ ସହିତ ଡିଲୁସନ, ଅପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ ମିଶ୍ରଣ, କିମ୍ବା ରାସାୟନିକ ଅବକ୍ଷୟ ଭଳି କାରଣ ଯୋଗୁଁ ସ୍ଲରି ଗୁଣଗୁଡ଼ିକ ଭିନ୍ନ ହୋଇପାରେ। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, ସ୍ଲରି ଟୋଟରେ କଣିକା ସ୍ଥିର ହେବା ଦ୍ଵାରା ତଳ ଭାଗରେ ଅଧିକ ଘନତା ହୋଇପାରେ, ଯାହା ଅସମାନ ପଲିସିଂ ହୋଇପାରେ। ପାରମ୍ପରିକ ପର୍ଯ୍ୟବେକ୍ଷଣ ପଦ୍ଧତି ଯେପରିକି pH, ଅକ୍ସିଡେସନ-ରିଡକ୍ସନ ପୋଟେନସିଆଲ୍ (ORP), କିମ୍ବା ବାହକତା ପ୍ରାୟତଃ ଅପର୍ଯ୍ୟାପ୍ତ, କାରଣ ସେମାନେ ସ୍ଲରି ରଚନାରେ ସୂକ୍ଷ୍ମ ପରିବର୍ତ୍ତନଗୁଡ଼ିକୁ ଚିହ୍ନଟ କରିବାରେ ବିଫଳ ହୁଅନ୍ତି। ଏହି ସୀମାବଦ୍ଧତା ତ୍ରୁଟି, ହ୍ରାସ ଅପସାରଣ ହାର ଏବଂ ବ୍ୟବହାରଯୋଗ୍ୟ ଖର୍ଚ୍ଚ ବୃଦ୍ଧି କରିପାରେ, ଯାହା ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ଉପକରଣ ନିର୍ମାତା ଏବଂ CMP ସେବା ପ୍ରଦାନକାରୀଙ୍କ ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ବିପଦ ସୃଷ୍ଟି କରେ। ପରିଚାଳନା ଏବଂ ବଣ୍ଟନ ସମୟରେ ଗଠନାତ୍ମକ ପରିବର୍ତ୍ତନ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ। ସବ୍-10nm ନୋଡ୍ ସ୍ଲରି ଶୁଦ୍ଧତା ଏବଂ ମିଶ୍ରଣ ସଠିକତା ଉପରେ କଠୋର ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଆବଶ୍ୟକ କରେ। pH ଏବଂ ORP ସର୍ବନିମ୍ନ ପରିବର୍ତ୍ତନ ଦେଖାଏ, ଯେତେବେଳେ ବାହକତା ସ୍ଲରି ବୟସ ସହିତ ପରିବର୍ତ୍ତନ ହୁଏ। ଶିଳ୍ପ ଅଧ୍ୟୟନ ଅନୁଯାୟୀ, ଅସଙ୍ଗତ ସ୍ଲରି ଗୁଣଗୁଡ଼ିକ ତ୍ରୁଟି ହାରକୁ 20% ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ବୃଦ୍ଧି କରିପାରିବ।
ରିଅଲ୍-ଟାଇମ୍ ମନିଟରିଂ ପାଇଁ ଲନ୍ମିଟରର ଇନଲାଇନ୍ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ
ଲନ୍ମିଟର ଏହାର ଉନ୍ନତ ଅଣ-ନ୍ୟୁକ୍ଲିୟର ସ୍ଲରି ଘନତା ମିଟର ସହିତ ଏହି ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜଗୁଡ଼ିକର ସମାଧାନ କରେ ଏବଂସାନ୍ଦ୍ରତା ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ, ଇନ-ଲାଇନ୍ ସାନ୍ଦ୍ରତା ମାପ ପାଇଁ ଇନଲାଇନ୍ ସାନ୍ଦ୍ରତା ମିଟର ଏବଂ ଏକକାଳୀନ ସ୍ଲରି ଘନତା ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା ମନିଟରିଂ ପାଇଁ ଅଲ୍ଟ୍ରାସୋନିକ ଘନତା ମିଟର ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ। ଏହି ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ CMP ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ନିର୍ବିଘ୍ନ ଏକୀକରଣ ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି, ଯାହା ଶିଳ୍ପ-ମାନକ ସଂଯୋଗ ପ୍ରଦାନ କରିଥାଏ। ଲନମିଟରର ସମାଧାନଗୁଡ଼ିକ ଏହାର ଦୃଢ଼ ନିର୍ମାଣ ପାଇଁ ଦୀର୍ଘକାଳୀନ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ଏବଂ କମ୍ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ପ୍ରଦାନ କରେ। ରିଅଲ୍-ଟାଇମ୍ ଡାଟା ଅପରେଟରମାନଙ୍କୁ ସ୍ଲରି ମିଶ୍ରଣକୁ ସୂକ୍ଷ୍ମ-ଟ୍ୟୁନ୍ କରିବାକୁ, ତ୍ରୁଟିକୁ ରୋକିବା ଏବଂ ପଲିସିଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତାକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିବାକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ, ଯାହା ଏହି ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକୁ ବିଶ୍ଳେଷଣ ଏବଂ ପରୀକ୍ଷଣ ଉପକରଣ ଯୋଗାଣକାରୀ ଏବଂ CMP ଉପଭୋକ୍ତା ଯୋଗାଣକାରୀଙ୍କ ପାଇଁ ଅପରିହାର୍ଯ୍ୟ କରିଥାଏ।
CMP ଅପ୍ଟିମାଇଜେସନ୍ ପାଇଁ ନିରନ୍ତର ତଦାରଖର ଲାଭ
ଲନ୍ମିଟରର ଇନଲାଇନ୍ ସେନ୍ସର ସହିତ ନିରନ୍ତର ତଦାରଖ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଅନ୍ତର୍ଦୃଷ୍ଟି ଏବଂ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଖର୍ଚ୍ଚ ସଞ୍ଚୟ ପ୍ରଦାନ କରି ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ପରିବର୍ତ୍ତନ କରେ। ଶିଳ୍ପ ମାନଦଣ୍ଡ ଅନୁଯାୟୀ, ବାସ୍ତବ-ସମୟ ସ୍ଲରି ଘନତା ମାପ ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା ମନିଟରିଂ ସ୍କ୍ରାଚ୍ କିମ୍ବା ଅତ୍ୟଧିକ ପଲିସିଂ ପରି ତ୍ରୁଟିକୁ 20% ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ହ୍ରାସ କରେ। PLC ସିଷ୍ଟମ ସହିତ ସମନ୍ୱୟ ସ୍ୱୟଂଚାଳିତ ଡୋଜିଂ ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ନିୟନ୍ତ୍ରଣକୁ ସକ୍ଷମ କରେ, ଯାହା ସ୍ଲରି ଗୁଣଗୁଡ଼ିକୁ ସର୍ବୋତ୍ତମ ପରିସର ମଧ୍ୟରେ ରହିବାକୁ ନିଶ୍ଚିତ କରେ। ଏହା ଉପଭୋଗ୍ୟ ଖର୍ଚ୍ଚରେ 15-25% ହ୍ରାସ, ଡାଉନଟାଇମ୍ ହ୍ରାସ ଏବଂ ଉନ୍ନତ ୱେଫର ସମାନତା ଆଣିଥାଏ। ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଫାଉଣ୍ଡ୍ରି ଏବଂ CMP ସେବା ପ୍ରଦାନକାରୀଙ୍କ ପାଇଁ, ଏହି ଲାଭଗୁଡ଼ିକ ଉନ୍ନତ ଉତ୍ପାଦକତା, ଅଧିକ ଲାଭ ମାର୍ଜିନ୍ ଏବଂ ISO 6976 ଭଳି ମାନଦଣ୍ଡ ସହିତ ଅନୁପାଳନକୁ ଅନୁବାଦ କରେ।
CMPରେ ସ୍ଲରି ମନିଟରିଂ ବିଷୟରେ ସାଧାରଣ ପ୍ରଶ୍ନ
CMP ପାଇଁ ସ୍ଲରି ଘନତା ମାପ କାହିଁକି ଜରୁରୀ?
ସ୍ଲରି ଘନତା ମାପ ସମାନ କଣିକା ବଣ୍ଟନ ଏବଂ ମିଶ୍ରଣ ସ୍ଥିରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ, ତ୍ରୁଟିକୁ ରୋକେ ଏବଂ ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ଅପସାରଣ ହାରକୁ ଅନୁକୂଳ କରେ। ଏହା ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ୱେଫର ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ଶିଳ୍ପ ମାନଦଣ୍ଡ ସହିତ ଅନୁପାଳନକୁ ସମର୍ଥନ କରେ।
ସାନ୍ଦ୍ରତା ନିରୀକ୍ଷଣ କିପରି CMP ଦକ୍ଷତାକୁ ବୃଦ୍ଧି କରେ?
ଭିଜୋସିଟି ମନିଟରିଂ ସ୍ଥିର ସ୍ଲରି ପ୍ରବାହ ବଜାୟ ରଖେ, ପ୍ୟାଡ୍ କ୍ଲଗ୍ିଙ୍ଗ୍ କିମ୍ବା ଅସମାନ ପଲିସିଂ ଭଳି ସମସ୍ୟାକୁ ରୋକିଥାଏ। ଲନ୍ମିଟରର ଇନଲାଇନ୍ ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ CMP ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିବା ଏବଂ ୱେଫର ଅମଳକୁ ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ପ୍ରକୃତ-ସମୟ ତଥ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରେ।
ଲନ୍ମିଟରର ଅଣ-ନ୍ୟୁକ୍ଲିୟର ସ୍ଲରି ଘନତା ମିଟରଗୁଡ଼ିକୁ କଣ ଅନନ୍ୟ କରିଥାଏ?
ଲନ୍ମିଟରର ଅଣ-ନ୍ୟୁକ୍ଲିୟର ସ୍ଲରି ଘନତା ମିଟରଗୁଡ଼ିକ ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଏବଂ ଶୂନ୍ୟ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ ସହିତ ଏକକାଳୀନ ଘନତା ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା ମାପ ପ୍ରଦାନ କରେ। ସେମାନଙ୍କର ଦୃଢ଼ ଡିଜାଇନ୍ ଦାବି କରୁଥିବା CMP ପ୍ରକ୍ରିୟା ପରିବେଶରେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନରେ ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିବା ପାଇଁ ବାସ୍ତବ-ସମୟ ସ୍ଲରି ଘନତା ମାପ ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା ନିରୀକ୍ଷଣ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ। ଲନ୍ମିଟରର ଅଣ-ନ୍ୟୁକ୍ଲିୟର ସ୍ଲରି ଘନତା ମିଟର ଏବଂ ସାନ୍ଦ୍ରତା ସେନ୍ସରଗୁଡ଼ିକ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣ ନିର୍ମାତା, CMP ଉପଭୋକ୍ତା ଯୋଗାଣକାରୀ ଏବଂ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଫାଉଣ୍ଡ୍ରିମାନଙ୍କୁ ସ୍ଲରି ପରିଚାଳନା ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜକୁ ଦୂର କରିବା, ତ୍ରୁଟି ହ୍ରାସ କରିବା ଏବଂ ଖର୍ଚ୍ଚ କମ କରିବା ପାଇଁ ଉପକରଣ ପ୍ରଦାନ କରନ୍ତି। ସଠିକ୍, ବାସ୍ତବ-ସମୟ ତଥ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରି, ଏହି ସମାଧାନଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଦକ୍ଷତା ବୃଦ୍ଧି କରେ, ଅନୁପାଳନ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ ଏବଂ ପ୍ରତିଯୋଗିତାମୂଳକ CMP ବଜାରରେ ଲାଭଦାୟକତାକୁ ବୃଦ୍ଧି କରେ। ପରିଦର୍ଶନ କରନ୍ତୁଲନ୍ମିଟରର ୱେବସାଇଟ୍କିମ୍ବା ଲନ୍ମିଟର ଆପଣଙ୍କର ରାସାୟନିକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପଲିସିଂ କାର୍ଯ୍ୟକୁ କିପରି ରୂପାନ୍ତରିତ କରିପାରିବ ତାହା ଜାଣିବା ପାଇଁ ଆଜି ହିଁ ସେମାନଙ୍କ ଦଳ ସହିତ ଯୋଗାଯୋଗ କରନ୍ତୁ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଜୁଲାଇ-୨୨-୨୦୨୫
